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    STK-7200V_全自動ウエハマウンター_SINTAIKE

    STK-7200V
    全自動ウエハマウンター（真空）
    特徴です
    全自動ウエハマウンター
    ローラーなしの特殊な真空取り付け技術（ローラー取り付けはオプション）
    標準的な 6、8ウェハ用の台盤で 6”、8のウェハに対応
    ベアリング：6/8 DISCO標準リングにも対応可能
    日本製JELのウェハ搬送ロボット＆アライナー
    汎用（一体型）テフロン静電気防止コーティング接触式台盤
    体積：1750mm（幅）×1350mm（奥行）×1800mm（高さ）
    本体重量：890kg
    推薦します