JEL SVCR3260
3軸円筒座標型クリーンロボット
特徴です
SVCR3000シリーズ、真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット、真空チャンバー内でのウェーハの搬送に適用
アームバリエーション: 160 mm, 190 mm, 260 mm, 330 mm
アーム関節部には、磁性流体シール装備
真空シール：磁性流体シール及びベローズ使用
動作モニター装備
制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O
全軸ACサーボモータ使用
S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
2相ステッピングモータ仕様も選択可能
チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
ウェーハ保持：落し込み
被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能